这是一个离散事件模型，使用ExtendeSim “高级资源管理（ARM）”功能来组织和分配资源。
此模型使用离散事件仿真和高级资源管理（ARM）功能。ARM是一个集成系统，用于组织资源、区分资源并在整个模型中分配资源。它提供了一种方便而直接的方法来定义离散事件项的复杂资源需求，并提供了一组灵活的规则来分配资源。ARM还提供了用于快速更改资源信息和生成统计报告的自动化方法。
该模型表示半导体晶圆厂中的晶圆制造。该模型中表示了制造过程的三个主要方面：
1） 正在生产的产品
2） 用于制造产品的资源
3） 自动物料处理系统（AMHS），用于将产品运送到晶圆厂的资源和从晶圆厂资源运送产品
单击Open Fab Layout（打开晶圆厂布局）按钮以显示晶圆厂布局的二维视图。工厂被分割成一组隔间。托架是进行晶片处理和存储的地方。晶圆加工发生在蓝色块中，表示一组功能相关的工具（工具集）。晶片存储发生在代表储料器的绿色块中。每个隔间都连接到自动物料处理系统（AMHS）。AMHS用于在托架之间输送晶圆。晶圆在前部开口的统一封装盒（FOUP）中运输。FOUP由彩色正方形表示，每种颜色代表不同的产品（点击打开数据库按钮查看产品dB表）。FOUP在储料器中等待，直到它们可以转移到可用的工具上。当FOUP在工具上完成其当前工艺步骤时，它会返回到托架的储料器，并等待转移到包含下一个工艺步骤所需工具的托架。
该模型代表了5种不同产品的制造。每种产品都有一组不同的工艺步骤。每个流程步骤都有不同的资源需求。项目用于表示制造厂正在制造的不同产品。项目是使用Factory起始h形块中的“创建”块从明细表创建的。它们被分配一个产品并被路由到AMHS h块。AMHS h区块使用预定义的路线将地块从其当前位置移动到其目的地位置。使用[Animation Routes]、[Route Paths]和[Animation Paths]表在数据库中定义路线。当一个项目完成沿其路线的移动时，它会退出AMHS并进入处理批次h块。
当项目首次进入处理批次h块时，它们将进入队列。这表示FOUP到达其目的地位置的储料器。项目在队列中等待，直到资源需求得到满足。当满足资源需求时，将流程步骤所需的工具集中的一个可用工具分配给该项，并从队列中释放该项。然后，该项目进入“处理批次h”块中的“活动”块。这表示FOUP正在加载到分配的刀具上。FOUP中的晶圆在工具上完成处理后，该项目将从活动块中释放。它通过发布资源h块，在该块中从项目中释放资源。它还检查工具是否需要修理。如果是，则生成一个项目以执行修复，并将工具的状态设置为关闭。FOUP项目从工艺批次h区退出，重新进入AMHS h区，在那里它将被移动到包含下一个工艺步骤所需工具集的目的地。
要查看在晶圆厂中移动的FOUP，请运行模型，打开动画，然后单击“打开晶圆厂布局”按钮。
要查看模型的结果，请单击“打开笔记本”按钮。
晶圆厂布局H块中的2D动画由方程式块控制。要查看此块的工作原理，请单击“打开晶圆布局”按钮，然后在晶圆图片下方向下滚动到“公式”块。打开“公式”块的对话框以查看用于控制此h块中的对象动画的ModL代码。
